[发明专利]能引出低熔点金属离子的冷阴极潘宁离子源

摘要

本发明涉及一种用在离子注入机设备中的离子源装置，特别是一种能引出低熔点金属离子的离子源，该方法针对潘宁离子源的对阴极做了改进，改进的办法是使对阴极内部挖空，在对阴极面打一个小孔，这样对阴极就成为一个带有孔洞的圆杯状腔壳，腔壳内包的低熔点金属物质于是就通过挥发进入放电室并被电离成离子，从而使离子源引出低熔点金属离子。这种改进源的最大特点是结构简单，操作方便。

主权项

1、一种能引出低熔点金属离子的冷阴极潘宁离子源，其中包括：一水套，为一空圆桶状，其侧面有一进水口，一出水口；一永久磁铁圆柱体，该永久磁铁圆柱体置于圆桶形水套内并与圆桶形水套同轴，永久磁铁圆柱体与水套内壁形成空间，进、出水口与空间相通，空间充满水，用于冷却；一软铁圆柱体，置于水套内的永久磁铁圆柱体的前端，并与永久磁铁圆柱体具有同样的直径，该软铁圆柱体也与圆桶形水套同轴；一阳极，形状如短圆管，置于水套的外端，与圆桶形水套同轴；一阴极，是一带有圆孔的圆片，置于阳极的外端，与圆桶形水套同轴；一引出电极，形如圆形漏斗，该引出电极与阴极同轴，置于阴极的外端，并与阴极有一预定距离；其特征在于，一对阴极，为圆杯状腔体，其杯口固置于水套的外端，与圆桶形水套同轴；阳极与圆杯状对阴极腔体有一预定距离，阴极隔阳极，置于圆杯状对阴极腔体的对面，与圆杯状对阴极有一预定距离。