[发明专利]供体基板制造装置、方法及有机电致发光显示装置制造方法无效
| 申请号： | 200410010491.4 | 申请日： | 2004-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1744776A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 金茂显;宋明原;陈炳斗;李城宅 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;H05B33/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种制造用于LITI的供体基板的装置，包括：真空室；线性移动并穿过真空室内部的供体基板；以及位于真空室中并在供体基板上形成转移层的沉积装置。 | ||
| 搜索关键词： | 供体 制造 装置 方法 有机 电致发光 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种制造用于LITI的供体基板的装置，包括：一真空室；一供体基板，其线性移动并且穿过所述真空室的内部；以及一沉积装置，其设置于所述真空室中并在所述供体基板上形成一转移层。
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