[发明专利]聚合物先驱体热解制备类金钢石纳米复合薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种聚合物先驱体热解制备类金刚石纳米复合薄膜的方法。该方法是将聚碳苯溶于有机溶剂中，然后添加正硅酸乙酯，通过旋涂的方法将混合溶液涂附在单晶硅片表面，然后高温处理制备出类金刚石纳米复合薄膜。其特点是：能量原料简单，制备过程简便，可在复杂基底上大面积沉积。该薄膜有望在机械工程、摩擦等领域得到广泛应用。

主权项

1、一种聚合物先驱体热解制备类金刚石纳米复合薄膜的方法，其特征在于，该方法是按照下列顺序步骤进行的：a.在聚碳苯的四氢呋喃溶液添加正硅酸乙酯，制成混合先驱体溶液；b.通过旋涂的方法将混合先驱体溶液涂附于单晶硅表面，待有机溶剂挥发后，在硅表面形成了正硅酸乙酯-聚碳苯薄膜；c.将涂有薄膜的硅片在惰性气体保护下进行高温处理，然后自然降至室温，得到薄膜。