[发明专利]一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置无效
| 申请号： | 200410010637.5 | 申请日： | 2004-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN1641332A | 公开（公告）日： | 2005-07-20 |
| 发明（设计）人： | 巩岩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01N23/223;G01B11/06 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘树清 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置，属于光学测试技术领域中涉及的一种膜厚测量装置，要解决的技术问题是：提供一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置，解决的技术方案：包括高压电源、X光管、聚光透镜、被测光学多层膜、多层膜基片、工作转台、氩气入口、阴极靶、双狭缝、分光元件、探测器、真空腔体、抽气口。在真空腔体内，在X光管发出的光的传播方向上，依次装置聚光透镜、被测光学多层膜、双狭缝、分光元件、探测器；多层膜基片置于工作转台上，阴极靶与高压电源连接。X光管发出的X光，经聚光透镜聚焦在多层膜的表面上，荧光以小于2°的掠出射角出射，经双狭缝、分光元件后射向探测器，实现多层膜厚度在线测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掠出射 荧光 在线 测量 光学 多层 厚度 装置 | ||
【主权项】：
1、一种掠出射荧光在线测量光学多层膜厚度的装置，包括X光管、分光元件、被测光学多层膜、多层膜基片、工作转台、狭缝、探测器、真空腔体；其特征在于本发明还包括高压电源(10)、聚光透镜(12)、氩气入口(16)、阴极靶(17)、抽气(22)；在带有抽气口(22)的真空腔体(21)内，在X光管(11)发出的光的传播方向上，依次装置聚光透镜(12)、被测光学多层膜(13)、双狭缝(18)、分光元件(19)、探测器(20)；真空腔体(21)内，被测光学多层膜基片(14)置于工作转台(15)上，工作转台(15)可绕轴转动。位于工作转台(15)上方的可转动的阴极靶(17)与高压电源(10)接通。X光管(11)发出的X光，经聚光透镜(12)聚焦在被测光学多层膜(13)的表面上，出射的荧光掠出射角小于2°，通过双狭缝(18)射向分光元件(19)，掠入射角小于4°，经分光元件(19)分光后射向探测器(20)。探测器(20)将接收到的光信号变为电信号送给外部的电子学系统，实现对光学多层膜厚度的在线测量。
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