[发明专利]氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法无效
| 申请号： | 200410010640.7 | 申请日： | 2004-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN1641063A | 公开（公告）日： | 2005-07-20 |
| 发明（设计）人： | 马剑钢;刘益春;徐海洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10;C23C14/35 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李恩庆 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于光电子材料技术领域，是一种氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法。先将氧化锌粉末放入加工好的模具当中，利用压片机或者油压机把氧化锌粉末加工成原柱形，经过900～1200℃高温焙烧2～4小时，使之成为陶瓷靶。然后把氧化锌陶瓷靶，均匀的分散固定到二氧化硅靶上。采用磁控溅射系统，以高纯度氩气为溅射气体，同时引入高纯氧气进行反应溅射，靶材与衬底的距离为3～7cm。最后将制备出的薄膜材料在高纯度氧气的气氛下退火0.5～1小时，退火温度应保持在650～750℃。本发明不需要对磁控溅射的设备进行改造，仅仅需要加工氧化锌陶瓷靶，原材料消耗少。所得到的薄膜材料均匀性好，发光效率明显提高。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 掺杂 二氧化硅 薄膜 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法，其特征是将纯度为99.999％以上的氧化锌粉末放入加工好的模具当中，利用压片机或者油压机把氧化锌粉末加工成直径5～12mm、厚度2～5mm的原柱形，经过900～1200℃高温焙烧2～4小时，使之成为陶瓷靶；将上述加工好的氧化锌陶瓷靶，均匀的分散固定到二氧化硅靶上；采用磁控溅射系统，以高纯度氩气为溅射气体，同时引入高纯氧气进行反应溅射，氩气的流量和氧气的流量比为4～2∶1；将制备出的薄膜材料在高纯度氧气的气氛下退火0.5～1小时，退火温度应保持在650～750℃。
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