[发明专利]有定向及自控制功能的真空镀膜机

摘要

本发明的有定向及自控制功能的真空镀膜机属改进型的真空镀膜装置。其结构有：平台34上的真空罩15、真空泵33、支架2、基板托架12、钨丝35；加装的定向装置由蒸发器1、玻璃漏斗4和漏斗托架3组成；加装的膜厚控制装置由微量天平13、压力传感器37和控制电路组成；加装的淀积速率控制装置由上极板16和下极板23及直流高压电源构成。还加装有加热器17、基板传动装置和蒸发源与基板间距控制装置。本发明能避免蒸汽分子散射造成的浪费，防止大颗粒熔融物影响薄膜的质量；膜层与基板结合得更致密、膜层更均匀；能够控制镀膜的厚度；控制和加快淀积速率。本发明是在原设备基础上的改进，所以设备简单，投资较小。

主权项

1、一种有定向和自控制功能的真空镀膜机，其结构有：放置在平台(34)上的真空罩(15)、通过平台(34)上的开孔连接的真空泵(33)、置于真空罩(15)内的支架(2)、置于支架(2)上端的带有圆孔的基板托架(12)、置于真空罩(15)内基板(14)下方的钨丝(35)；真空泵(33)通过平台(34)上的开孔与平台(34)和真空罩(15)构成封闭的空间——真空室；其特征是，结构还有定向装置、膜厚控制装置、淀积速率控制装置和基板传动装置；所说的定向装置由蒸发器(1)、玻璃漏斗(4)和漏斗托架(3)组成；蒸发器(1)呈椭球壳状，中间开孔，开孔处具有凹陷卡口(22)；玻璃漏斗(4)由漏斗托架(3)支撑，其下端套于蒸发器1凹陷卡口(22)处，其上端靠近挡板基座(5)的下面与基板(14)相对；所说的膜厚控制装置由膜厚检测装置和挡板自动控制装置组成；膜厚检测装置安装在基板托架(12)上，由微量天平(13)加装压力传感器(37)和控制电路而成；挡板自动控制装置包括中心有镀膜孔(29)的挡板基座(5)、其上安有卡座a(26)和卡座b(24)，带转动柄(28)的活动挡板(6)能盖住挡板基座(5)上的镀膜孔(29)、沿转动柄(28)轴向开有滑槽(25)，挡板基座(5)上固定有转动轴(27)、滑槽(25)套在转动轴(27)上，弹簧B(7)一端固定在挡板基座(5)上，另一端连接点(36)固定在转动柄(28)靠近活动挡板(6)和滑槽(25)的地方，弹簧A(8)一端固定在转动轴(27)上，另一端固定在转动柄(28)远离活动挡板(6)的端头，电磁铁(9)安装在转动柄(28)的端头、且在在挡板开启时与其处在同一高度并固定于钟罩外的永磁铁(10)相对，电磁铁(9)的线圈(11)通过控制电路与微量天平(13)中的压力传感器(37)相连；控制电路主要由线圈(11)、微量天平(13)、压力传感器(37)、继电器开关(38)、电键(42)、导电触片(39、40、41)及电源组成；所说的淀积速率控制装置由固定于支架(2)上的上极板(16)和下极板(23)，及外接直流高压电源构成；上极板(16)水平放置于基板托架(12)之上，下极板(23)水平放置于蒸发器(1)之下；所说的基板传动装置由安装于基板托架(12)上的电动机(19)、垫于基板(14)下的滑圈(30)、固定圈(32)、传动带(18)和滚珠(31)组成，固定圈(32)同心的固定在基板托架(12)上的圆孔外，滑圈(30)通过滚珠(31)同心的放置于固定圈(32)上，并能在电动机(19)通过传动带(18)带动下转动。