[发明专利]一种液体微流喷射靶激光等离子体软X射线光源

摘要

一种液体微流喷射靶激光等离子体软X射线光源，属于短波段光源技术领域中涉及的一种光源，本发明要解决的技术问题是：提供一种液体微流喷射靶激光等离子体软X射线光源。解决的技术方案是：包括真空靶室、法兰、外桶、高压腔、制冷管、电阻加热丝、密封定位筒、旋转手柄、隔热板、阀杆、喷嘴等部件，外桶通过法兰在真空靶室的顶部与其密封固连，制冷管的进口与出口分别与左右隔热管密封固连，伸向真空靶室内的制冷管紧密缠绕在高压腔的平直段上，外侧还缠绕电阻加热丝，密封定位筒焊接在外桶顶部中央，隔热板的侧面与密封定位筒内表面滑动接触，阀体的上端与波纹管固连并插入到隔热板的下凹槽内，阀尖能够封住喷嘴，激光束聚焦在从喷嘴喷出的微流上，产生激光等离子体辐射软X射线。

主权项

1、一种液体微流喷射靶激光等离子体软X射线光源，包括真空靶室、真空泵、聚光透镜、激光束、加热丝、喷嘴、其特征在于还包括法兰(16)、外桶(17)、隔热板(18)、制冷管进口端(19)、密封定位筒(20)、旋转手柄(21)、工作物质输进管(22)、制冷管出口端(23)、隔热板(24)、液压波纹管(25)、高压腔(26)、制冷管(27)、阀杆(29)、微流(31)；外桶(17)通过法兰(16)在真空靶室(15)的顶部与真空靶室(15)密封固连，左右两个隔热管(18)在外桶(17)的顶部穿过外桶(17)并与其焊接固定，制冷管(27)的进口端(19)与左边的隔热管(18)密封配合安装，伸向外桶(17)和真空靶室(15)内的制冷管(27)紧密缠绕在上部带有液压波纹管(25)的高压腔(26)下半部平直段上，在缠绕的制冷管(27)的外侧，还紧密缠绕加热电阻丝(28)，从高压腔(26)引出的工作物质输进管(22)的进口端伸出外桶，与外桶焊接固连，制冷管(27)的出口端(23)与右边的隔热管(18)密封配合安装并伸出外桶(17)之外，密封定位筒(20)焊接固定在外桶(17)的顶部中央，旋转手柄(21)的转轴顶杆与密封定位筒(20)螺纹配合，下端插入到隔热板(24)的上凹槽内，隔热板(21)的侧面与密封定位筒(20)的内表面滑动接触，可上下滑劝，在高压腔(26)内的阀杆(29)的上端穿过液压波纹管(25)并与其固连，伸出的头部插入到隔热板(24)的下凹槽内，阀杆(29)下端的阀尖，随阀杆移动能够封死高压腔(26)底部喷嘴(30)，旋转手柄(21)的转轴顶杆与阀杆(29)处于同轴线上，激光束(13)通过聚光透镜(14)和真空靶室窗口(12)聚焦在微流(31)上，真空泵(32)与真空靶室(15)相通。