[发明专利]制作应用于原子力显微镜研究的具有定位功能的基底无效
| 申请号： | 200410011339.8 | 申请日： | 2004-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1621806A | 公开（公告）日： | 2005-06-01 |
| 发明（设计）人： | 刘志国;李壮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春应用化学研究所 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;G01N21/958 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130022吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明是一种应用于原子力显微镜研究的具有定位功能的基底制作方法。本发明运用一般的标记技术结合原子力显微镜的探针直接在样品表面加工出图案来制作不同的基底，制作的基底可用于样品的定位和比较的研究。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 应用于 原子 显微镜 研究 具有 定位 功能 基底 | ||
【主权项】：
1、一种应用于原子力显微镜研究的具有定位功能的基底制作方法，分为以下的步骤进行：1)选用的基底云母、高温热解石墨片、镀金膜或GaAs膜，剪裁为0.5-2cm尺寸大小的片子；2)基底的背面或基底的表面边缘刻写10-100微米的标记，用于在原子力显微镜所配备的高倍数光学显微镜下初步的定位；3)预先设定的区域用力常数大于1N/m的原子力显微镜的硅针尖或金刚石针尖在2)已作了初步标记的基底的表面上刻写纳米级至微米级的各种形状的图案；4)光学显微镜观察基底的背面或基底的表面边缘刻写的标记记录原子力显微镜的针尖所产生的图案的位置和形状的大小，这个基底和其记录即可用于原子力显微镜的研究中样品的定位和比较；5)用上述的基底，制作用于原子力显微镜的观察的样品，运用其所带的记录找到其表面由原子力针尖产生的图案，对图案周围的样品进行定位和比较。
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