[发明专利]芯片自发式微电发生器及其制作方法无效
| 申请号： | 200410011373.5 | 申请日： | 2004-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN1728526A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | 杨洪波;陈长征;滕玉鹃 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H02N2/18 | 分类号： | H02N2/18 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微小电源，由众多微电发生单元阵列组成，微电发生单元之间通过其悬臂梁2连接，微电发生单元包括：振动质量块1、悬臂梁2、压电薄膜3、电极4。设计微电发生单元结构和阵列形式；用电感耦合等离子刻蚀或利用湿法腐蚀工艺，完成振动质量块和悬臂梁制作；用化学气相沉积工艺在悬臂梁表面制作压电薄膜；用溅射或蒸发金属层方法制作电极及其引线；芯片封装，完成制作。本发明可实现微小功耗芯片的自给供电，减少或根本不需要芯片对外部电能的需求，有利于微电子产品的微小化，对于在不能二次供电的特殊场合下的应用有着重要的实用价值。本发明最大限度地利用和节省了能源，将广泛应用于军事、通信、医疗等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 自发 式微 发生器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、芯片自发式微电发生器，其特征在于：由若干微电发生单元阵列组成，微电发生单元之间通过其悬臂梁(2)连接。
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