[发明专利]喷墨记录头的制造方法及利用该制造方法制造的喷墨记录头有效
| 申请号： | 200410011499.2 | 申请日： | 2004-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN1636730A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 照井真 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/135 | 分类号： | B41J2/135;B41J2/16 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 吴丽丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种具有喷出墨水的喷出口的喷墨记录头的制造方法，其特征在于：在具有通过对形成该喷出口的喷出口形成部件进行干法刻蚀而形成喷出口的工序的喷墨记录头的制造方法中，上述喷出口形成部件由含Si树脂形成；并且上述干法刻蚀工序，是使用以氧和氯为必需成分的刻蚀气体进行的。 | ||
| 搜索关键词： | 喷墨 记录 制造 方法 利用 | ||
【主权项】：
1.一种具有喷出墨水的喷出口的喷墨记录头的制造方法，其特征在于：在具有通过对形成该喷出口的喷出口形成部件进行干法刻蚀而形成喷出口的工序的喷墨记录头的制造方法中，上述喷出口形成部件由含Si树脂形成；并且上述干法刻蚀工序，是使用以氧和氯为必需成分的刻蚀气体进行的。
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