[发明专利]透明材料激光内部雕刻设备

摘要

本发明提供了一种透明材料激光内部雕刻设备，包括激光器、扩束镜、两个光束偏转镜、聚焦镜和计算机。激光器包括全反镜、声光调Q器件、半导体泵浦模块、倍频晶体、输出镜，全反镜镀有基频光全反膜层，或者同时镀有基频光和倍频光双全反膜层，输出镜镀有对基频光透过率为4％～10％和对倍频光全透的膜层，声光调Q器件电源调节声光调Q器件的驱动频率，产生1～10千赫兹调Q倍频激光脉冲输出，计算机控制xy工作台，实现第一光束偏转镜、第二光束偏转镜和聚焦镜在X、Y方向上的运动，控制一维电控位移台，实现聚焦镜或透明材料在Z方向上的运动。本发明激光输出模式好，光功率稳定、效率高；雕刻速度快，适合进行大幅面透明材料的雕刻。

主权项

1.一种透明材料激光内部雕刻设备，其特征在于：包括激光器(1)、扩束镜(2)、第一光束偏转镜(3)、第二光束偏转镜(4)、聚焦镜(5)和计算机(6)；激光器(1)包括全反镜(9)、声光调Q器件(10)及其电源(14)、半导体泵浦模块(11)、倍频晶体(12)、输出镜(13)，全反镜(9)镀有基频光全反膜层，或者同时镀有基频光和倍频光双全反膜层，输出镜(13)同时镀有对基频光透过率为4％～10％和对倍频光全透的膜层，电源(14)调节声光调Q器件(10)的驱动频率，产生1～10千赫兹调Q倍频激光脉冲输出；扩束镜(2)将激光器(1)输出的激光束直径扩大，发散角压缩，使激光束通过聚焦镜(5)聚焦后的光斑直径缩小，得到小的聚焦光斑；第一光束偏转镜(3)安装在xy工作台(7)的x轴上，将经过扩束镜(2)后的平行于x轴的激光束偏转成平行于y轴的激光束；第二光束偏转镜(4)安装在xy工作台(7)的y轴上，将上述平行于y轴的激光束偏转成平行于z轴的激光束；聚焦镜(5)将上述平行于z轴的激光束聚焦到透明材料中；计算机(6)控制xy工作台(7)，实现第一光束偏转镜(3)在X方向上的运动，第二光束偏转镜(4)和聚焦镜(5)在X、Y方向上的运动。