[发明专利]ZnO陶瓷薄膜的制备方法无效
申请号: | 200410013448.3 | 申请日: | 2004-07-10 |
公开(公告)号: | CN1594202A | 公开(公告)日: | 2005-03-16 |
发明(设计)人: | 姜胜林;曾亦可;李秀峰;刘梅冬 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | C04B35/453 | 分类号: | C04B35/453;C04B35/624 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 | 代理人: | 朱仁玲 |
地址: | 430074湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种ZnO陶瓷薄膜的制备方法,包括:采用传统的溶胶-凝胶法制备ZnO溶胶,取上述60~80%的溶胶烘干后,升温至550℃~650℃,使有机物分解,得到ZnO晶体,再碾磨制备成ZnO纳米粉体,其粒径在30nm~70nm;在上述ZnO粉体中加入分散剂,经混合后,加入到剩余的溶胶中;在载体上采用通常的方法制备所需厚度的薄膜,薄膜的退火温度为500℃~850℃。通过该方法可制备从2000nm~5000nm的薄膜,该薄膜无裂纹、致密型好、晶粒分布较均匀。 | ||
搜索关键词: | zno 陶瓷 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种ZnO陶瓷薄膜的制备方法,其特征在于:包括(1)采用溶胶-凝胶法制备ZnO溶胶;(2)取上述60~80%的溶胶,升温至550℃~650℃,使有机物分解,得到ZnO晶体,再碾磨制备成ZnO纳米粉体,其粒径在30nm~70nm;(3)在上述ZnO粉体中,加入分散剂,经混合后,加入到剩余的溶胶中;(4)在载体上制备薄膜,薄膜的退火温度为500℃~850℃。
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