[发明专利]ZnO陶瓷薄膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 200410013448.3 申请日: 2004-07-10
公开(公告)号: CN1594202A 公开(公告)日: 2005-03-16
发明(设计)人: 姜胜林;曾亦可;李秀峰;刘梅冬 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: C04B35/453 分类号: C04B35/453;C04B35/624
代理公司: 华中科技大学专利中心 代理人: 朱仁玲
地址: 430074湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种ZnO陶瓷薄膜的制备方法,包括:采用传统的溶胶-凝胶法制备ZnO溶胶,取上述60~80%的溶胶烘干后,升温至550℃~650℃,使有机物分解,得到ZnO晶体,再碾磨制备成ZnO纳米粉体,其粒径在30nm~70nm;在上述ZnO粉体中加入分散剂,经混合后,加入到剩余的溶胶中;在载体上采用通常的方法制备所需厚度的薄膜,薄膜的退火温度为500℃~850℃。通过该方法可制备从2000nm~5000nm的薄膜,该薄膜无裂纹、致密型好、晶粒分布较均匀。
搜索关键词: zno 陶瓷 薄膜 制备 方法
【主权项】:
1.一种ZnO陶瓷薄膜的制备方法,其特征在于:包括(1)采用溶胶-凝胶法制备ZnO溶胶;(2)取上述60~80%的溶胶,升温至550℃~650℃,使有机物分解,得到ZnO晶体,再碾磨制备成ZnO纳米粉体,其粒径在30nm~70nm;(3)在上述ZnO粉体中,加入分散剂,经混合后,加入到剩余的溶胶中;(4)在载体上制备薄膜,薄膜的退火温度为500℃~850℃。
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