[发明专利]微机械零件三维加工装置无效
申请号: | 200410013586.1 | 申请日: | 2004-02-27 |
公开(公告)号: | CN1559752A | 公开(公告)日: | 2005-01-05 |
发明(设计)人: | 孙涛;阎永达;胡振江;梁迎春;张龙江;董申 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | B23Q1/25 | 分类号: | B23Q1/25;B23Q5/00 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人: | 张伟;王吉东 |
地址: | 150001黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 微机械零件三维加工装置,它属于纳米加工装置。现有的基于扫描探针显微镜的加工还只局限于平面二维微图形,没有形成一整套类似于超精密金刚石车削加工的加工机理与相关技术。本发明包括机械台体(1)、设置在机械台体(1)上的三维粗动工作台(2),在机械台体(1)上设有加工头部件(3)和光学系统(4),在三维粗动工作台(2)上设有主轴系统(5),所述三维粗动工作台(2)、加工头部件(3)、光学系统(4)、主轴系统(5)都与控制系统(6)相连。本发明产品具有精度高、效果好的优点。 | ||
搜索关键词: | 微机 零件 三维 加工 装置 | ||
【主权项】:
1.一种微机械零件三维加工装置,它包括机械台体(1)、设置在机械台体(1)上的三维粗动工作台(2),其特征在于在机械台体(1)上设有加工头部件(3)和光学系统(4),在三维粗动工作台(2)上设有主轴系统(5),所述三维粗动工作台(2)、加工头部件(3)、光学系统(4)、主轴系统(5)都与控制系统(6)相连。
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