[发明专利]光栅楔形平板及应用该平板的转角测量装置

摘要

本发明公开一种测角元件，还公开应用该测角元件的转角测量装置。一种光栅楔形平板(1)，它由上下平面间夹成楔形的玻璃楔形平板(1－1)和加工在玻璃楔形平板(1－1)倾斜表面(101)上的反射式闪耀光栅(1－2)组成，(1－2)是若干个以中心轴(102)为中心的同心圆形分布的刻划面。应用光栅楔形平板(1)的转角测量装置，它由双频激光干涉仪(2)、干涉模块(3)和光栅楔形平板(1)组成，(2)由双频激光光源(2－1)和光电接收器(2－2)组成，(3)由偏振分光镜(3－1)、两块相同的λ/4波片(3－2)、直角棱镜(3－3)和角锥棱镜(3－4)组成，加工有闪耀光栅(1－2)的倾斜表面(101)背向(3)。由于本发明采用激光光学测角方法，响应迅速，因此动态响应范围大。本发明具有设计新颖、工作可靠和具有较大推广价值的优点。

主权项

1、一种光栅楔形平板，其特征是圆形的光栅楔形平板(1)包括上下平面间夹成楔形的玻璃楔形平板(1-1)和加工在玻璃楔形平板(1-1)倾斜表面(101)上的反射式闪耀光栅(1-2)，反射式闪耀光栅(1-2)是若干个以中心轴(102)为中心的同心圆形分布的刻划面，反射式闪耀光栅(1-2)的刻划线(104)垂直于中心轴(102)。