[发明专利]采用脉石英制备超细高纯石英材料的方法

摘要

本发明涉及超细高纯石英材料的制备方法，其工艺为：采用国产优质脉石英矿(SiO₂≥99％)为原料，经粗碎、静电选法去杂、超细粉碎、高梯度磁选法去杂、微波处理、络合法去杂以及后处理等工序生产电子级和微电子级超细高纯石英新材料，其制备工艺采用静电选法、高梯度磁选法、微波处理和络合法等先进技术去除杂质，该方法使SiO₂含量达99.99－99.999％，杂质含量＜100ppm，粒度800－2500目，符合电子级、微电子级使用要求，产品以其优异的性能应用于电子元件、微电子元件及集成电路的高档塑封材料等。

主权项

1、一种采用脉石英制备超细高纯石英材料的方法，其特征在于：采用脉石英为原料，按下列步骤进行制备：(1)、对原料矿物进行粉碎，使伴生矿物与石英解离，并符合静电选工艺对入选料粒度要求；(2)、采用静电选法对粉碎后的物料进行物理除杂，去除物料中长石类、云母类杂质；(3)、对静电除杂后的物料进行超细粉碎，粉碎粒度为800～2500目；(4)、采用高梯度磁选法对超细粉碎后的物料进行物理除杂，去除磁铁矿、钛铁矿类强磁和弱磁性矿物；(5)、采用微波对高梯度磁选后的物料进行处理，激活金属类杂质离子，提高杂质离子活性；(6)、采用络合法对微波处理后的物料进行化学除杂，其中，络合剂与金属离子进行络合反应，生成溶于水的络合化合物，然后通过固、液分离方法去除粘土矿物、碳酸盐、金属氧化物等残留杂质；(7)、对分离后的固体物料进行后处理得成品。