[发明专利]一种超纯、超细硅粉及其制作方法无效
| 申请号： | 200410014529.5 | 申请日： | 2004-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1562744A | 公开（公告）日： | 2005-01-12 |
| 发明（设计）人： | 张永诚 | 申请（专利权）人： | 张永诚 |
| 主分类号： | C01B33/113 | 分类号： | C01B33/113;C01B33/18;C09C1/28 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利事务所 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214111江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体材料，具体地说是一种生产超细、超纯硅粉的方法。该硅粉的主要成分为：二氧化硅大于99.96％，铁小于0.003％，硅粉颗粒的直径小于1微米，在硅粉颗粒的外表面包覆有硅烷耦联剂。这种超纯、超细硅粉的制作方法包括：a.材料预处理；b.焙烧及煅烧；c.研磨：经过冷却后的矿石进入柱磨机内研磨成325目的硅粉；d.筛分及磁选：将上述硅粉在筛分机上筛选，小于325目的硅粉再进入磁选机内进行磁选，以除去硅粉中的磁性物质；e.化学提纯：将除去磁性物质的硅粉放入反应容器内，与混合有稀氢氟酸与稀盐酸的稀酸溶液发生反应；f.干燥；g.超音速气流粉碎与改性。这种方法有效降低生产成本、提高硅粉的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超细硅粉 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种超纯、超细硅粉，其特征在于，该硅粉的主要成分为：二氧化硅大于99.96％，铁小于0.003％，硅粉颗粒的直径小于1微米，在硅粉颗粒的外表面包覆有硅烷耦联剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张永诚，未经张永诚许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410014529.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
