[发明专利]导光板制造方法无效
申请号: | 200410015499.X | 申请日: | 2004-02-21 |
公开(公告)号: | CN1658037A | 公开(公告)日: | 2005-08-24 |
发明(设计)人: | 余泰成;吕昌岳;陈杰良 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335;G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种导光板制造方法,包括以下步骤:提供一第一基板,在该第一基板上涂覆一均匀光阻层;利用一具有预定图案的光罩对该光阻层进行曝光和显影;采用干蚀刻方法对第一基板有光阻层的一面进行蚀刻;去除剩余光阻;在该已蚀刻的第一基板表面沉积一金属薄膜层;进行电铸步骤,在该金属薄膜层上形成一具有一定厚度的金属层;移除该第一基板,形成一模仁;提供一第二基板,利用该模仁对第二基板进行热压成型;移除该模仁,形成导光板。 | ||
搜索关键词: | 导光板 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种导光板制造方法,包括以下步骤:提供一第一基板,在该第一基板上涂覆一均匀光阻层;利用一具有预定图案的光罩对该光阻层进行曝光和显影;采用干蚀刻方法对第一基板有光阻层一面进行蚀刻;去除剩余光阻;在该已蚀刻的第一基板表面沉积一金属薄膜层;进行电铸步骤,在该金属薄膜层上形成一具有一定厚度的金属层;移除该第一基板,形成一模仁;提供一第二基板,利用该模仁对第二基板进行热压成型;移除该模仁,形成导光板。
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