[发明专利]一种基于紫外光直写技术制作波导布拉格光栅的方法

摘要

一种基于紫外光直写技术制作波导布拉格光栅的方法，其特征在于采用掺杂锗的二氧化硅基片，利用集成电路工艺在SiO2基片上镀制一层掩模薄膜，并进行光刻、腐蚀工艺制作出波导布拉格光栅的掩模图形，再利用紫外光源在二氧化硅基片表面上照射，使得二氧化硅基片的掺锗的波导芯层发生光学折射率变化，从而制作出波导布拉格光栅。用该方法制作布拉格光栅不仅简单易行，而且可以制作多种结构、多种参数的波导布拉格光栅，并可实现波导光栅的进一步集成，从而可降低成本，扩大波导光栅的应用范围，提高波导光栅的生产效率和成品率。

主权项

1.一种制作波导布拉格光栅的方法，其特征在于：在掺锗的二氧化硅基片的表面镀制一层薄膜，利用光刻、腐蚀工艺制作出欲紫外写入的布拉格光栅掩模图形，然后利用紫外光照射，使得二氧化硅基片的掺锗的波导芯层发生光学折射率变化，由此制作出波导布拉格光栅。