[发明专利]多功能光学质量检测装置无效
| 申请号： | 200410017311.5 | 申请日： | 2004-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1563943A | 公开（公告）日： | 2005-01-12 |
| 发明（设计）人： | 黄惠杰;刘丹;任冰强;赵永凯;阎岩;王向朝;张维新;王树森 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种多功能光学质量检测装置，其特征在于它共光轴地依次设有标准平行光管、扫描式哈特曼光阑、聚焦镜、CCD摄像机，所述的扫描式哈特曼光阑安装在光阑支架上，该支架上方固定有编码器，下方装有步进电机，还有计算机，所述的CCD摄像机、编码器和步进电机均与计算机相连；在计算机的控制下，通过步进电机驱动扫描式哈特曼光阑绕光轴旋转，另一方面该计算机接收CCD摄像机输出的图像和编码器给出的扫描式哈特曼光阑的位置信息，并对图像进行数据处理。本发明可用于指导光学元件加工、光路调整，评价入射光束与焦斑的质量等，具有检测精度高、速度快、功能多的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 多功能 光学 质量 检测 装置 | ||
【主权项】：
1、一种多功能光学质量检测装置，其特征在于它共光轴地依次设有标准平行光管(9)、扫描式哈特曼光阑(10)、聚焦镜(11)、CCD摄像机(13)，所述的扫描式哈特曼光阑(10)安装在光阑支架上，该支架上方固定有编码器(15)，下方装有步进电机(16)，还有计算机(14)，，所述的CCD摄像机(13)、编码器(15)和步进电机(16)均与计算机(14)相连；在计算机(14)的控制下，通过步进电机(16)驱动扫描式哈特曼光阑(10)绕光轴旋转，另一方面该计算机(14)接收CCD摄像机(13)输出的图像和编码器(15)给出的扫描式哈特曼光阑(10)的位置信息，并对图像进行数据处理。
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