[发明专利]用于金属有机化学气相沉积设备的双层进气喷头

摘要

本发明公开了一种用于金属有机化学气相沉积设备的双层进气喷头，包括封闭形的外壳体，在外壳体内有上进气腔和下进气腔，在上中层板与底板之间安装有与上进气腔和反应室连通的上出气管，在下中层板与底板之间安装有与下进气腔和反应室连通的下出气管，特征是下出气管的直径大于上出气管的直径，且上出气管放置于下出气管中。本发明还设计有冷却腔。第一路反应气体和第二路反应气体分别由上出气管、下出气管进入反应室，到达衬底表面。因此本发明具有能够将不同反应气体分别送入反应室、使反应气体充分混合均匀、减小预反应、制造成品率高的优点。

主权项

1、一种用于金属有机化学气相沉积设备的双层进气喷头，包括封闭形的外壳体(1)，在外壳体(1)内固定有上中层板(4)和下中层板(5)，在顶板(3)与上中层板(4)之间形成密封的上进气腔(2)，在上中层板(4)与下中层板(5)之间形成密封的下进气腔(9)，在外壳体(1)的侧壁(14)上安装有与上进气腔(2)连通的上进气管(17)、与下进气腔(9)连通的下进气管(16)，在上中层板(4)与底板(6)之间安装有与上进气腔(2)和反应室(13)连通的上出气管(7)，在下中层板(5)与底板(6)之间安装有与下进气腔(9)和反应室(13)连通的下出气管(8)，其特征在于：下出气管(8)的直径大于上出气管(7)的直径，且上出气管(7)放置于下出气管(8)中。