[发明专利]光滑表面疵病的自动化检测方法及其系统有效
| 申请号： | 200410017628.9 | 申请日： | 2004-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN1563957A | 公开（公告）日： | 2005-01-12 |
| 发明（设计）人： | 杨甬英;卓永模 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光滑表面疵病的自动化检测方法及其系统。根据疵病标准及其疵病的光散射特性，建立了新颖的适合于大口径子孔径扫描散射成像的计算机辅助的数字化检测装置；它采用了多光纤多方位角布局的具有柯拉照明的冷光源，实现被检面疵病的散射光的反射式成像；表面疵病的散射光经光学显微变焦系统收集并成像于CCD上；被测面为大口径时，计算机控制X、Y移动工作台进行表面的多个子孔径扫描；建立了对疵病图像基于数学形态学的模式识别的数学模型及疵病尺度定标的软件体系。本发明采用了客观的数字化评价系统，对疵病检测的准确度远远高于目视的主观观察；采用了自动化的扫描及数据处理方法，被测件为大口径时，大大提高了检测的工作效率。可以对几个微米以上尺度的表面疵病进行识别分类及定标评价。 | ||
| 搜索关键词： | 光滑 表面 自动化 检测 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
1、一种光滑表面疵病的自动化检测方法，其特征在于采用了多光纤方位角布局的具有柯拉照明的冷光源，实现疵病的散射光的反射式成像；表面疵病边缘诱发的散射光经光学显微变焦放大系统收集并成像于CCD上；被测面为大口径时，计算机控制进行子孔径扫描的X、Y工作台平移来获得表面的多个子孔径扫描，获得全口径的疵病图像数据；建立了对疵病图像基于数学形态学的模式识别的数学模型及疵病定标的软件体系。
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