[发明专利]钨酸锌湿度传感器件的制造方法无效
| 申请号： | 200410017966.2 | 申请日： | 2004-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN1571184A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 焦正;吴明红;顾建忠;李珍;王艳丽 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | H01L49/00 | 分类号： | H01L49/00;G01N25/60 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所 | 代理人： | 顾勇华 |
| 地址： | 200072*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种氧化铁/二氧化锡双层薄膜乙醇敏感元件的制造方法，属于半导体传感器及敏感元件制造工艺技术领域。本发明主要采用溶胶—凝胶工艺，其特征是：在氧化铝衬底上先浸涂二氧化锡层，再在二氧化锡层表面制备氧化铁层，经过热处理，形成氧化铁/二氧化锡双层薄膜乙醇敏感元件。本发明方法制备的氧化铁/二氧化锡双层薄膜乙醇敏感元件，具有较高的稳定性能和灵敏度，而且工艺简便，成本低廉。它可用于检测司机有没有过量饮酒，可以控制酒后开车问题。 | ||
| 搜索关键词： | 钨酸锌 湿度 传感 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钨酸锌湿度传感器件的制造方法，该方法的特征在于具有如下工艺程序和步骤：a.将氧化锌和三氧化钨以1∶0.2-1的比例混合，混合物放置于球磨机中研磨12小时以达到完全均匀；b.然后添加2％的十六烷基醇，加入少量无水乙醇，在研钵中继续研磨2小时；c.将上述混合物在100Mpa的压力下压制成直径10毫米，厚5毫米的圆片，同时在圆片内植入两根金丝作为电极引线；d.将该圆片放在管式炉中进行热处理，首先以10℃/分钟的升温速度升至400℃，然后以2℃/分钟的升温速度升至700℃，最后以1℃/分钟的升温速度升至800℃，并保持12小时。最终得到钨酸锌湿度传感器件的主要部件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海大学，未经上海大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410017966.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
