[发明专利]采用飞秒激光和固体浸润透镜加工近场小孔的装置无效
| 申请号： | 200410018165.8 | 申请日： | 2004-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN1570690A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 杨金涛;徐文东;高秀敏;周飞;张锋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02F1/35;H01S3/00;G02B21/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种采用飞秒激光和固体浸润透镜加工近场小孔的装置，包括一激光器，以该激光器出射光的对称轴为光轴oo，在该光轴oo上依次置有准直镜和分光镜，激光器的激光出射面的空间滤波小孔位于该准直镜的焦面上，该分光镜的分光面与光轴oo成45°角，通过分光镜的分光面中心且与光轴oo垂直是光轴o′o′；在该光轴o′o′上沿分光镜反射光前进的方向上，依次同轴地置有的物镜、固体浸润透镜、垫板和两维调整架，该垫板置于该两维调整架上，该固体浸润透镜是一个固体透明半球，其球面朝物镜；该固体浸润透镜的平面上镀有不透明膜，该不透明膜又与垫板的大平面相接触，在垫板上光轴o′o′穿过的地方开有小孔，该小孔的直径小于固体浸润透镜的直径，在光轴o′o′上分光镜的另一面置有的监视系统，所述物镜设有调焦机构。利用本发明装置制作近场小孔，不仅孔小，而且加工准确方便。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 激光 固体 浸润 透镜 加工 近场 小孔 装置 | ||
【主权项】：
1、一种采用飞秒激光和固体浸润透镜加工近场小孔的装置，其特征在于该装置包括一激光器(9)，以该激光器(9)出射光的对称轴为光轴oo，在该光轴oo上依次置有准直镜(8)和分光镜(6)，激光器(9)的激光出射面的空间滤波小孔位于准直镜(8)的焦面上，分光镜(6)的分光面与光轴oo成45°角，通过分光镜(6)的分光面中心且与光轴oo垂直是光轴o′o′；在该光轴o′o′上沿分光镜(6)反射光前进的方向上，依次同轴地置有的物镜(5)、固体浸润透镜(4)、垫板(2)和两维调整架(1)，该垫板(2)置于两维调整架(1)上，该固体浸润透镜(4)是一个固体透明半球，其球面朝物镜(5)；该固体浸润透镜(4)的平面上镀有不透明膜(3)，该不透明膜(3)又与垫板(2)的大平面相接触，在垫板(2)上光轴o′o′穿过的地方开有小孔，该小孔的直径小于固体浸润透镜(4)的直径，在光轴o′o′上分光镜(6)的另一面置有的监视系统(7)，所述物镜(5)设有调焦机构(10)。
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