[发明专利]夹具三维运动的控制装置无效
| 申请号： | 200410018497.6 | 申请日： | 2004-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN1580317A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 王建国;邵建达;郑韦军;范正修 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于物理气相沉积镀膜机的夹具三维运动的控制装置，其特征在于它由计算机、驱动器、两个步进电机和支撑支架三部分组成，所述的支撑支架固定在镀膜机真空室内，该支撑支架固定第一步进电机，该第一步进电机的转轴上固定一直角钢板的一钢板，第二步进电机的转轴穿过该直角钢板的另一钢板并固定在盖钢板外侧，该步进电机的转轴的顶端固定一夹具，该夹具上安装基片；所述的计算机与驱动器相连，该驱动器通过电缆分别与第一步进电机和第二步进电机相连。本发明使镀膜的夹具相对于蒸发源的运动由二维扩展为三维，更有利于镀膜的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 三维 运动 控制 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于物理气相沉积镀膜机的夹具三维运动的控制装置，其特征在于它由计算机(1)、驱动器(2)、两个步进电机(51、52)和支撑支架三部分组成，所述的支撑支架固定在镀膜机真空室(4)内，该支撑支架固定第一步进电机(51)，该第一步进电机(51)的转轴上固定一直角钢板(54)的一钢板(541)，第二步进电机(52)的转轴穿过该直角钢板(54)的另一钢板(542)并固定在钢板(542)外侧，该步进电机(52)的转轴的顶端固定一夹具(55)，该夹具(55)上安装基片(56)；所述的计算机(1)与驱动器(2)相连，该驱动器(2)通过电缆(3)分别与第一步进电机(51)、第二步进电机(52)相连。
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