[发明专利]一种新型热驱动微型执行器无效
| 申请号： | 200410020435.9 | 申请日： | 2004-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN1689959A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李文荣;陈浩然 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 110016辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机器人技术在细胞操作和分离方面的应用技术，具体地说是一种基于Parylene C聚合材料、可实现液体环境中细胞操作的新型热驱动微执行器；为固定在硅基底上的多悬臂梁结构，每个悬臂梁为parylene C夹持电阻材料的三层结构。其加工工艺采用MEMS平面印刷技术。本发明具有可电热制动效果，parylene C作为热/电/化学隔离材料，可使电阻材料构成的加热器不暴露在液体里，因而具有良好的生物适用性和液体环境适应性；可以在控制温度的方式下实现对细胞的操作和分离，可为细胞的定位探测、注射和测量提供自动化操作应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 驱动 微型 执行 | ||
【主权项】：
1.一种新型热驱动微执行器，其特征在于：为固定在硅基底上的多个悬臂梁结构，每个悬臂梁为parylene C夹持电阻材料的三层结构。
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