[发明专利]一种透射电镜用薄膜样品的制备方法无效
| 申请号： | 200410021024.1 | 申请日： | 2004-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN1641067A | 公开（公告）日： | 2005-07-20 |
| 发明（设计）人： | 于洪波;刘实;郑华;马爱华;王隆保;戎利建 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;G01N1/28 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张晨;陈亚屏 |
| 地址： | 110015辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种透射电镜用薄膜样品的制备方法，其特征在于：采用磁控溅射镀膜方法，镀膜的衬料是铜网。本发明提供的透射电镜用薄膜样品的制备方法的优点在于：简化了电镜薄膜样品的制备工艺，避免了薄膜电镜样品制备过程中引入一些假象的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 电镜用 薄膜 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种透射电镜用薄膜样品的制备方法，其特征在于：采用磁控溅射镀膜方法，镀膜的衬料是铜网。
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