[发明专利]一种制备纳米晶材料的快速循环晶化装置和方法无效
| 申请号： | 200410022254.X | 申请日： | 2004-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1681143A | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | 张怀武;石玉;刘颖力;钟智勇;周海涛;贾利军;苏桦;唐晓莉;杨清慧 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L49/00 | 分类号： | H01L49/00;C30B28/02;C30B33/00;G11B11/14;G11B5/84 |
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| 地址： | 610054四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备纳米晶材料的快速循环晶化(简称RRTA)装置和方法，利用本发明提供的制备纳米晶材料快速循环晶化(RRTA)装置，首先确定薄膜样品17的保温温度Ta，然后，制备出一系列纳米晶材料的快速循环晶化结果，通过对它进行比较分析，就可以得到：循环次数和升温速率与晶粒大小的关系，确定最佳循环次数和最佳升温速率；最后，按照最佳循环次数和最佳升温速率就可以制备出经过快速循环晶化的纳米晶材料。采用本发明提供的方法和装置可以制备出性能优良的纳米晶粒材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 纳米 材料 快速 循环 化装 方法 | ||
【主权项】：
1、一种制备纳米晶材料的快速循环晶化装置，它包括：石英管端头密封塞(5)、排气孔(6)、冷却水管(7)、温度测试与控制器(8)、碘钨灯(9)、电源(15)、样品(17)、金属外壳(18)；其特征是它还包括：石英管(10)、氮气系统阀(11)、真空系统阀(12)、氮气瓶(13)、真空抽气系统(14)、磁场的亥姆霍兹线圈(16)；将亥姆霍兹线(16)分别圈套在石英管(10)两端，冷却水管(7)位于金属外壳(18)内侧，碘钨灯(9)位于石英管(10)外中心区域，绕金属外壳(18)内侧中央区域均匀排列；石英管(10)安放在柱体金属外壳(18)的中心；温度测试与控制器(8)安放在放置样品(17)的区域石英管(10)的外测；氮气瓶(13)与真空抽气系统(14)通过三通连接器连接，再用橡胶管与石英管(10)嘴相连。
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