[发明专利]氮化钽粉末及其制备方法有效
| 申请号： | 200410023088.5 | 申请日： | 2004-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN1562734A | 公开（公告）日： | 2005-01-12 |
| 发明（设计）人： | 潘泽强;王时光;杨声海;何坤池 | 申请（专利权）人： | 株洲硬质合金集团有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/06 | 分类号： | C01B21/06 |
| 代理公司： | 长沙永星专利事务所 | 代理人： | 周咏 |
| 地址： | 412000湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种含氮量≥6.8％的氮化钽粉末，以及利用普通真空反应容器制备该粉末的方法。本发明将钽粉装入真空反应容器中，抽真空至压力＜0.1Pa后充入纯度≥99.999％的高纯氮气，保持氮气压力为0.02～0.16MPa，同时升温到700℃～1200℃并保温5～12小时，然后冷却到室温后将反应产物破碎、过筛，经酸洗去除杂质，再水洗至溶液pH值为中性后烘干，所制得的高氮氮化钽粉末中氮含量为6.8～7.39％。由于采用普通真空反应容器且反应温度在1200℃以下，大大节约了设备投资和能源成本，操作方便，易于实现工业化生产，制得的氮化钽粉末氮含量≥6.8％，在半导体、集成电路中的应用得到了进一步的扩展。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 粉末 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种氮化钽粉末，主要由N和Ta组成，其特征在于：N含量为6.8～7.39％，杂质总量小于0.0143％，余量为Ta。
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