[发明专利]低温低压合成氮化物晶体材料的方法无效
申请号: | 200410023466.X | 申请日: | 2004-02-10 |
公开(公告)号: | CN1557698A | 公开(公告)日: | 2004-12-29 |
发明(设计)人: | 郝霄鹏;徐现刚;张怀金;蒋民华 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | C01B21/06 | 分类号: | C01B21/06 |
代理公司: | 济南三达专利事务所 | 代理人: | 孙君 |
地址: | 250100*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 低温低压合成氮化物晶体材料的方法,属于晶体材料生长技术领域。把硼源、镓源、铟源或铝源加入反应容器中,加入氮源,将反应容器密封,抽真空,充入氮气,加热到200~1000℃,反应2~480小时,反应完成后,产物洗涤,抽滤,干燥,得到氮化硼、氮化镓、氮化铟或氮化铝晶体材料,可广泛应用于蓝紫光和紫外光半导体光电子器件的衬底材料、热衬材料、高效率的发光二极管和激光二极管、场发射晶体管、光加热散热器、大功率电子器件的密封材料、精密机械加工刀具、高稳定性耐高温加热容器、高热导率绝缘材料、磨削切削工具,军用特种窗口材料等。 | ||
搜索关键词: | 低温 低压 合成 氮化物 晶体 材料 方法 | ||
【主权项】:
1.氮化物晶体材料制备方法,包括如下步骤:(1)把硼源、镓源、铟源或铝源加入反应容器中,加入至少一种氮源,将反应容器密封,抽真空,充入氮气,加热到200~1000℃,反应2~480小时,(2)反应完成后,产物先用乙醇洗涤,接着用去离子水洗涤、抽滤,或用碱性或酸性溶液处理后,再进行抽滤,直到滤液呈中性为止,(3)所得到的产物在真空中加热干燥,得到氮化硼、氮化镓、氮化铟或氮化铝晶体材料。
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