[发明专利]稀土掺杂铈酸锶纳米晶薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种稀土掺杂铈酸锶纳米晶薄膜的制备方法，属无机薄膜材料制造技术领域。本发明主要采用有机聚合物前驱体法，本方法的特征在于：以硝酸亚铈、硝酸锶或醋酸锶、稀土氧化物为原料配制成一定浓度的初始溶液，三者的量比根据所制备的薄膜组成而定，薄膜组成为SrCe_1－xRE_xO₃，其中x值的范围为0.02－0.20，初始溶液浓度为0.1－0.4mol/L；以乙二醇为络合剂，乙二醇加入量为金属离子总量的2－6倍；在搅拌或超声振荡下，并在50－100℃的水浴中加热；调节pH值，使该系统受热反应生成有机聚合物，待粘度到达100－300cP，在所要求的基片上以1500－3000rpm的转速用均胶机涂膜；红外干燥或真空干燥，再次涂膜，干燥，直至到达所需厚度；在900℃反应生成纳米晶薄膜。

主权项

1.一种稀土掺杂铈酸锶纳米晶薄膜的制备方法，主要采用有机聚合物前驱体法，其特征在于：以硝酸亚铈、硝酸锶或醋酸锶、稀土氧化物为原料配制成一定浓度的初始溶液，三者的量比根据所制备的薄膜组成而定，薄膜组成为SrCe1-xRExO3，其中x值的范围为0.02-0.20；初始溶液的浓度为0.1-0.4mol/L；以乙二醇为络合剂，加入量为金属离子总量的2-6倍；在搅拌或超声振荡下，并在50-100℃的水浴中加热；调节pH值为2-5，该系统受热反应生成有机聚合物，待粘度到达100-300cP，在所要求的基片上以1500-3000rpm的转速用均胶机涂膜5-15秒钟；在80-150℃下红外干燥或真空干燥15分钟；再次涂膜，干燥，直至到达所需厚度；在600-1100℃下反应2-8小时，制得纳米晶薄膜。