[发明专利]一种金属离子源

摘要

本发明涉及一种金属离子源，能够提高高密度金属元素离子的金属离子源。本发明在装置的阴极上增加辅助阴极，辅助阴极突出在阳极区内，并与阳极构成一个放电室，在辅助阴极下方设置环形磁铁和磁铁，磁铁置在环形磁铁内，两磁铁连接在阴极上。辅助阴极采用需要的金属元素材料制成，当需要某种金属元素时，安装上用该材料制备的辅助阴极和磁铁，构成磁控溅射源，该辅助阴极即增大了金属元素的溅射产额，保护了原有阴极不被损坏，延长离子源的使用寿命，使用非常方便。当需要采用气体离子时，将辅助阴极下方设置环形磁铁和磁铁去掉即可。利用该源既可获取气体元素离子又可获取不同高密度金属元素离子，可以利用一个离子源满足多种元素离子的注入需要。

主权项

1、一种金属离子源，包括底座(9)，在底座(9)上固定有进气嘴(5)，进气嘴(5)上连接有阴极(3)，阴极(3)固定在底座(9)上，阴极(3)上设置有可与进气嘴(5)相通的通气孔，阴极(3)上面连接有阳极(8)，在阳极(8)外设置有磁铁(10)，磁铁(10)上端通过安装板(11)固定，安装板(11)固定在安装筒(12)上，安装筒(12)套装在磁铁(10)外，磁铁(10)下端和安装筒(12)固定于底座(9)上，在安装筒(12)上安装有引出栅(13)，引出栅(13)位于阳极(8)的上面，并绝缘隔离，引出栅(13)中间设置有引出孔，在引出栅(13)上方套装有中间电极(16)和加速电极(17)，并用绝缘层绝缘，中间电极(16)与加速电极(17)固定在安装筒(12)上，其特征在于，在阴极(3)上增加辅助阴极(6)，辅助阴极(6)突出在阳极区内，并与阳极(8)构成一个放电室，在辅助阴极(6)下方设置环形磁铁(2)和磁铁(4)，磁铁(4)置在环形磁铁(2)内，环形磁铁(2)和磁铁(4)连接在阴极(3)上。