[发明专利]锡掺杂的氧化铟薄膜及微细图形制备工艺

摘要

本发明公开了一种锡掺杂的氧化铟薄膜及微细图形制备工艺，将硝酸铟和四氯化锡加入乙酰丙酮溶剂中，然后加入去离子水，制得溶液A；苯酰丙酮为螯合剂加入乙二醇甲醚溶剂中，制得溶液B，将溶液A、B混合，搅拌、沉化，得到感光性锡掺杂的氧化铟溶胶。将高压汞灯或紫外激光通过具有微细图形的掩模，照射锡掺杂的氧化铟凝胶薄膜，在大气环境下紫外光照射，去掉掩模，然后在无水乙醇中放置，未被紫外光照射的部分被溶解，经照射的部分完整保留下来，在进行加热，除去有机物，得到了锡掺杂的氧化铟薄膜微细图形。本发明不需特殊的真空和反应室，可以制作大面积的微细图形，无需光致抗蚀剂和腐蚀性介质，可以获得高质量ITO薄膜的微细图形。

主权项

1、一种锡掺杂的氧化铟薄膜，首先，制得感光性锡掺杂的氧化铟溶胶，然后，用常规的浸渍提拉法或旋涂法在玻璃或硅基板上制备出具有紫外感光性的锡掺杂的氧化铟凝胶薄膜；其特征在于，所说的感光性锡掺杂的氧化铟溶胶的制备方法如下：以硝酸铟ln(NO3)3·4.5H2O和四氯化锡Sncl4·5H2O为原料、苯酰丙酮BzAcH为螯合剂；首先以乙酰丙酮AcAc为溶剂，将硝酸铟ln(NO3)3·4.5H2O和四氯化锡Sncl4·5H2O加入乙酰丙酮AcAc溶剂中，然后加入去离子水，使各组分摩尔比为硝酸铟ln(NO3)3·4.5H2O∶四氯化锡Sncl4·5H2O∶乙酰丙酮AcAc∶水H2O＝1∶0.05～0.12∶6～8∶0.1～0.15，在18-50℃下用磁力搅拌器搅拌0.5-2小时，制得溶液A；再以乙二醇甲醚MOE为溶剂，苯酰丙酮BzAcH为螯合剂加入乙二醇甲醚MOE溶剂中，其各组分摩尔比为苯酰丙酮BzAcH∶乙二醇甲醚MOE＝1∶40～50，在常温18-30℃下溶解，制得溶液B；将溶液A、B混合，使来源于溶液A的硝酸铟ln(NO3)3·4.5H2O和来源于溶液B的苯酰丙酮BzAcH摩尔比为1∶0.8～1.2，在常温18-30℃下用磁力搅拌器搅拌1-3小时，制得溶液C；溶液C经过搅拌、在30-35℃下，经8-12小时沉化，得到感光性锡掺杂的氧化铟溶胶。