[发明专利]抛光装置及抛光方法无效
| 申请号： | 200410026707.6 | 申请日： | 2004-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1672870A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 翁维襄 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B13/06 | 分类号： | B24B13/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光装置及抛光方法，该抛光装置包括容槽、夹具、电控装置、驱动装置及抛光头，其特征在于：该容槽的内部表面为导体并接有导线；该夹具固设于容槽的内部；该驱动装置受控于该电控装置；该抛光头由驱动装置所驱动且可通过该电控装置而具有一个电势；其中该容槽的内部表面与该抛光头间可形成一个电场，且该容槽内部表面的电势高于抛光头的电势，该容槽内容置有研磨浆料，该研磨浆料中含有研磨粉粒，且该研磨粉粒于所述电场内可产生电泳，该抛光头于驱动装置的带动下，可于该容槽内沿电控装置所设路径移动。相较现有的抛光装置及抛光方法，本发明的抛光装置及抛光方法易散热、机械力小、效率高且研磨精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抛光装置，包括容槽、夹具、电控装置、驱动装置及抛光头，其特征在于：该容槽的内部表面为导体并接有导线；该夹具固设于容槽的内部；该驱动装置受控于该电控装置；该抛光头由驱动装置所驱动且可通过该电控装置而具有一个电势；其中该容槽的内部表面与该抛光头间可形成一个电场，且该容槽内部表面的电势高于抛光头的电势，该容槽内容置有研磨浆料，该研磨浆料中含有研磨粉粒，且该研磨粉粒于所述电场内可产生电泳，该抛光头在驱动装置的带动下，可于该容槽内沿电控装置所设路径移动。
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