[发明专利]散热装置及其制备方法无效
| 申请号： | 200410026819.1 | 申请日： | 2004-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1681111A | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | 颜士杰 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/34 | 分类号： | H01L23/34;G06F1/20;H05K7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供的散热装置包括基座，形成于该基座上的氮化铝钛层，形成于该氮化铝钛层上的触媒层，形成于该触媒层上的碳纳米管。另外，本发明还提供上述散热装置的制备方法，其包括步骤：提供一基座；于该基座上形成一氮化铝钛层；于该氮化铝钛层上形成一触媒层；于该触媒层上长出碳纳米管。本发明是以氮化铝钛层作为扩散阻挡层，该阻挡层不仅可有效防止铜原子扩散到触媒层，与触媒粒子反应而影响碳纳米管的生长，且可确保散热装置的高散热效率。另外，利用本发明提供的制备方法，可制备高散热效率的散热装置。 | ||
| 搜索关键词： | 散热 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种散热装置，其包括：一散热基座，其包括相对二表面；其特征在于：该基座其中一表面形成有一氮化铝钛层；该氮化铝钛层上沉积有一触媒层；及该触媒层上生长有碳纳米管。
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