[发明专利]二氧化锡透明导电膜的制造设备有效
申请号: | 200410026828.0 | 申请日: | 2004-04-14 |
公开(公告)号: | CN1563482A | 公开(公告)日: | 2005-01-12 |
发明(设计)人: | 李毅;郑泽文 | 申请(专利权)人: | 李毅 |
主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40;C23C16/54 |
代理公司: | 深圳市毅颖专利事务所 | 代理人: | 张艺影;李奕晖 |
地址: | 518031广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明创造涉及二氧化锡透明导电膜的制造装置,以陶瓷管作为传动件构成,包括数根同步滚动的陶瓷管构成送带装置。括窑体、电机控制装置、传动链、齿轮传送装置、窑体加热装置,镀膜衬底在陶瓷管传送带上被传送至窑体中部,窑体中部喷头对衬底表面喷镀二氧化锡透明导电膜层。主传动侧设有电机、传动链、齿轮传送装置、锁紧口,从动侧设有固定齿轮,数根陶瓷管水平放置,一头被锁定,可以不停机更换陶瓷管,不影响生产。克服了用金属传送带易腐蚀,衬底变形。提高衬底温度,使导电膜牢固产品质量提高,延长设备使用寿命,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 氧化 透明 导电 制造 设备 | ||
【主权项】:
1、一种二氧化锡透明导电膜制造设备,其特征在于镀膜辊道窑以陶瓷管作为传动件构成,包括数根同步滚动的陶瓷管构成送带装置,还包括窑体、电机控制装置、传动链、齿轮传送装置、窑体加热装置,镀膜传送件衬底在陶瓷管传送带上被传送至窑体中部,由设在窑体中部的喷头装置对衬底表面喷镀二氧化锡透明导电膜层。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的