[发明专利]二氧化锡透明导电膜的制造设备有效

专利信息
申请号: 200410026828.0 申请日: 2004-04-14
公开(公告)号: CN1563482A 公开(公告)日: 2005-01-12
发明(设计)人: 李毅;郑泽文 申请(专利权)人: 李毅
主分类号: C23C16/40 分类号: C23C16/40;C23C16/54
代理公司: 深圳市毅颖专利事务所 代理人: 张艺影;李奕晖
地址: 518031广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明创造涉及二氧化锡透明导电膜的制造装置,以陶瓷管作为传动件构成,包括数根同步滚动的陶瓷管构成送带装置。括窑体、电机控制装置、传动链、齿轮传送装置、窑体加热装置,镀膜衬底在陶瓷管传送带上被传送至窑体中部,窑体中部喷头对衬底表面喷镀二氧化锡透明导电膜层。主传动侧设有电机、传动链、齿轮传送装置、锁紧口,从动侧设有固定齿轮,数根陶瓷管水平放置,一头被锁定,可以不停机更换陶瓷管,不影响生产。克服了用金属传送带易腐蚀,衬底变形。提高衬底温度,使导电膜牢固产品质量提高,延长设备使用寿命,降低生产成本。
搜索关键词: 氧化 透明 导电 制造 设备
【主权项】:
1、一种二氧化锡透明导电膜制造设备,其特征在于镀膜辊道窑以陶瓷管作为传动件构成,包括数根同步滚动的陶瓷管构成送带装置,还包括窑体、电机控制装置、传动链、齿轮传送装置、窑体加热装置,镀膜传送件衬底在陶瓷管传送带上被传送至窑体中部,由设在窑体中部的喷头装置对衬底表面喷镀二氧化锡透明导电膜层。
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