[发明专利]显影液移除装置无效
| 申请号： | 200410027038.4 | 申请日： | 2004-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN1690860A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 许文诚;王敬龙;詹育颖;曾增魁 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一显影液移除装置，其包括一承载基板的工作台和一支架，其中，该支架上设置有一去离子水喷嘴和一气体喷嘴，该去离子水喷嘴和一气体喷嘴分别与两个枢纽连接。该装置可快速且安全地排除位于基板表面的显影液。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 装置 | ||
【主权项】：
1.一显影液移除装置，其包括一承载基板的工作台和一支架，其特征在于：该支架上设置有一去离子水喷嘴和一气体喷嘴。
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