[发明专利]基板贴合方法无效
| 申请号： | 200410027099.0 | 申请日： | 2004-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN1690787A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 江经纬;张彦中 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种基板贴合方法，其包括以下步骤：提供一真空腔，该真空腔具有一工作台和一第一静电吸盘；将一第一基板吸附在该第一静电吸盘上，将一第二基板设置在该工作台上；贴合第一基板与第二基板；保持真空腔持续抽真空的同时，提供一气体，冲击该第一基板并使之与该第一静电吸盘脱离。 | ||
| 搜索关键词： | 贴合 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板贴合方法，包括以下步骤：提供一真空腔，该真空腔具有一工作台和一第一静电吸盘；将一第一基板吸附在该第一静电吸盘上，将一第二基板设置在该工作台上；贴合该第一基板与第二基板；保持真空腔持续抽真空的同时，提供一气体，冲击该第一基板并使之与该第一静电吸盘脱离。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410027099.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：冻疮液
- 下一篇：一种健身止咳去寒姜蜜膏
