[发明专利]非球面绕射镜片的模仁及其制造方法无效
| 申请号： | 200410027765.0 | 申请日： | 2004-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN1710447A | 公开（公告）日： | 2005-12-21 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/08 | 分类号： | G02B3/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种非球面绕射镜片的模仁，其包括底材及形成于底材上的绕射光学图案层，该底材具有一非球面曲面，该图案层具有凹凸结构的绕射条纹，其特征在于该图案层的凹凸结构的绕射条纹与预制造的非球面绕射镜片的绕射条纹相反。其制造方法包括提供底材、涂布光阻、将绕射光学图案刻于光阻上、对光阻曝光、显影、蚀刻、清洗等步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 球面 镜片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种非球面绕射镜片的模仁，其特征在于：其包括底材及形成于底材上的一绕射光学图案层，该底材具有一非球面曲面，该图案层具有凹凸结构的绕射条纹。
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