[发明专利]单酸微量添加装置及方法有效
| 申请号： | 200410027775.4 | 申请日： | 2004-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN1710146A | 公开（公告）日： | 2005-12-21 |
| 发明（设计）人： | 黄昌桂;黄荣龙;欧振宪;高胜洲 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种单酸微量添加装置，其包括一蚀刻单元与一监测添加单元，该蚀刻单元包括一蚀刻室与一混酸槽；该监测添加单元包括一单酸测酸仪器、一单酸补充演算器及一单酸添加槽；该单酸测酸仪器与该混酸槽相连，该单酸补充演算器与该单酸测酸仪器及单酸添加槽相连，单酸添加槽又与混酸槽相连；该混酸槽、单酸测酸仪器、单酸补充演算器及单酸添加槽首尾相连并构成单酸微量添加闭合控制回路。 | ||
| 搜索关键词： | 微量 添加 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种单酸微量添加装置，包括一蚀刻单元与一监测添加单元，该蚀刻单元包括一蚀刻室与一混酸槽；该监测添加单元包括一单酸测酸仪器，该单酸测酸仪器与该混酸槽相连；其特征在于：该监测添加单元还包括一单酸补充演算器及一单酸添加槽；该单酸补充演算器与该单酸测酸仪器及单酸添加槽相连，单酸添加槽又与混酸槽相连；该混酸槽、单酸测酸仪器、单酸补充演算器及单酸添加槽首尾相连并构成单酸微量添加闭合控制回路。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司，未经鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410027775.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：熊胆开明片
- 下一篇：用于焊接高强钢的气体保护焊丝
