[发明专利]气体混合装置

摘要

本发明是关于一种气体混合装置，特别是一种用于化学气相沉积法生长碳纳米管的气体混合装置。本发明所提供的气体混合装置包括：一第一气体混合腔；一与第一气体混合腔相连通的第二气体混合腔，该第二气体混合腔为细长的曲状腔体。本发明的气体混合装置通过第一气体混合腔可以使多种气体缓冲混合，再通过第二气体混合腔的细长曲状腔体可以增加多种气体分子相互碰撞的机会而使得多种气体混合更加均匀。

主权项

1.一种气体混合装置，其包括一第一气体混合腔；一与第一气体混合腔相连通的第二气体混合腔，其特征在于该第二气体混合腔为细长的曲状腔体。