[发明专利]薄膜晶体管基板及制造方法有效

专利信息
申请号: 200410028643.3 申请日: 2004-03-03
公开(公告)号: CN1560921A 公开(公告)日: 2005-01-05
发明(设计)人: 陈慧昌;李俊右;周诗频 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: H01L23/48 分类号: H01L23/48;H01L23/12;H01L21/60;H01L21/28
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 陈亮
地址: 台湾省新竹科学*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明涉及一种薄膜晶体管基板,包括一玻璃基板、一薄膜晶体管、一电极垫及一导电凸块。薄膜晶体管及电极垫都形成于玻璃基板上,电极垫用以与薄膜晶体管电性连接。导电凸块包括数个绝缘凸块及一导电层,此些绝缘凸块相互隔开地形成于电极垫上。导电层覆盖此些绝缘凸块的顶面、此些绝缘凸块的内侧表面和此些绝缘凸块之间的部分的电极垫,用以与电极垫电性连接,此些绝缘凸块的外围侧面暴露于导电层之外。
搜索关键词: 薄膜晶体管 制造 方法
【主权项】:
1.一种导电凸块,设置于一基板或一芯片上的一电极垫上,该导电凸块包括:多个绝缘凸块,相互隔开地形成于该电极垫上;以及一导电层,覆盖该些绝缘凸块的顶面、该些绝缘凸块的内侧表面和该些绝缘凸块之间的部分的该电极垫,用以与该电极垫电性连接,该些绝缘凸块的外围侧面暴露于该导电层之外。
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