[发明专利]夹紧装置的倾斜调整方法

摘要

本发明是关于一种夹紧装置的倾斜调整方法，可利用基准被检测体，对夹紧装置的倾斜姿势简易且低成本、高精度地进行调整以使其沿目标方向只倾斜目标角度α，此基准被检测体的顶端面的倾斜角度β是形成为小于倾斜夹紧装置时的目标角度α的角度。将保持有基准金属箍450的夹紧装置，设置于使其轴A的垂直面Q与显微干涉仪装置1的基准面P平行的初期位置，并测定基准金属箍450的顶端面453对基准面P的相对倾斜角度γ。接着，倾斜夹紧装置以使基准金属箍450的顶端面453对基准面P沿目标方向进行倾斜，并测定顶端面453对基准面P的相对倾斜角度δ。调整夹紧装置的倾斜姿势，以使该被测定的相对倾斜角度δ与目标角度α和倾斜角度γ的角度差ε一致。

主权项

1、一种夹紧装置的倾斜调整方法，使将显微干涉仪装置所测定的柱状被检测体，以夹紧装置的轴和前述被检测体的轴略为一致的形态而进行保持的前述夹紧装置的前述轴的垂直面，对前述显微干涉仪装置的基准面，向一定的目标方向只倾斜一定的目标角度α，而对前述夹紧装置的倾斜姿势进行调整，其特征在于其包括以下步骤：将前述夹紧装置设置在前述垂直面对前述基准面成平行状态的初期位置；将顶端面倾斜角度β形成为小于前述目标角度α的角度的基准被检测体，以使前述顶端面对前述基准面，形成沿与前述目标方向相反的方向只相对倾斜与前述倾斜角度β大致相等的角度的状态，进行保持在前述初期位置所设置的前述夹紧装置；在该保持状态下，将前述顶端面对前述基准面的相对倾斜角度γ，利用前述显微干涉仪装置进行测定；接着，将保持前述基准被检测体的前述夹紧装置，以一面控制该夹紧装置在前述轴周围的旋转，一面使前述顶端面对前述基准面沿前述目标方向相对倾斜的形态而进行倾斜，且在该倾斜状态下，将前述顶端面对前述基准面的相对倾斜角度δ，利用前述显微干涉仪装置进行测定；对前述夹紧装置的倾斜姿势进行调整，以使该相对倾斜角度δ是和前述目标角度α与前述相对倾斜角度γ的角度差ε一致。