[发明专利]基板及其制造方法、电光装置用基板、电光装置和电子设备有效
| 申请号： | 200410029496.1 | 申请日： | 2004-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN1532600A | 公开（公告）日： | 2004-09-29 |
| 发明（设计）人： | 仓科久树 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/133 | 分类号： | G02F1/133 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 李峥;于静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的带检查元件的基板的特征在于，具备：分别形成成膜图案的多个成膜层；分别在上述多个成膜层之间形成的层间膜；由与上述多个成膜层中的至少1个成膜层的各成膜图案相同的材料在检查元件形成区域形成的检查元件图案；在平坦化的最上层的层间膜的上述检查元件形成区域形成的、使与上述检查元件图案连接的多个焊盘露出的开孔部；以及由与上述多个成膜层中的指定的成膜层的各成膜图案相同的材料在上述多个焊盘的下方形成的虚设图案。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 制造 方法 电光 装置 用基板 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种电光装置用基板，其特征在于，具备：由在带检查元件的基板上配置的成膜层形成的多个层间膜下侧配线图案；在上述多个层间膜下侧配线图案正上方形成的、表面被平坦化的层间膜；与上述多个层间膜下侧配线图案的一部分对应地在上述平坦化的层间膜上形成的多个接触孔；以及设置在上述基板与上述多个层间膜下侧配线图案之间的、与上述多个接触孔的各个区域对应的厚度相同或大致相同的叠层膜。
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