[发明专利]四极结构场发射显示器的网罩制造方法

摘要

本发明涉及一种四极结构场发射显示器的网罩制造方法，该网罩为具有收敛电极层、绝缘层与闸极层三层结构的独立板体，用一种具有多个通孔的金属导电板作为基板，并用该金属导电板作为收敛电极层，该导电板的一侧用一种网板印刷工艺并结合微影制造工艺先布设一绝缘层，在该绝缘层的外侧面制作一闸极层。

主权项

1.一种四极结构场发射显示器的网罩制造方法，所述网罩放置在阴极基板与阳极基板之间，具有收敛电极层、绝缘层与闸极层三层结构，其特征在于，所述方法包括：a.将软性绝缘材料涂覆在一平面胶膜上，形成一涂层；b.将一具有多个第一通孔的金属导电板放置在所述涂层上，压合所述金属导电板，使所述涂层的绝缘材料填塞在所述金属导电板的第一通孔内，用所述金属导电板作为收敛电极层；c.将步骤b中所完成的板体加以烘烤后，移除胶膜；d.在被移除胶膜的一侧布设一层与步骤a相同的涂层，形成绝缘层；e.进行烧结程序，使浆料固化成膜体；f.在所述膜体外侧设置闸极层，使所述闸极层的多个第三通孔正对着所述金属导电板的第一通孔，所述闸极层用一种感光型金属材料制成；g.将步骤f所完成的半成品进行第二次烧结，使所述闸极层固着在所述绝缘层上；h.在所述闸极层的外侧及所述收敛电极层的外侧分别制作一保护层，所述两保护层的多个通孔分别对着收敛电极层的第一通孔与闸极层的第三通孔；i.用蚀刻制造工艺移除所述收敛电极层的第一通孔内的填充物，并将绝缘层对着所述第一通孔处的玻璃胶蚀刻形成第二通孔，使所述收敛电极层的第一通孔、绝缘层的第二通孔及闸极层的第三通孔对应形成一连续相通的通孔；j.剥离所述保护层