[发明专利]大型基板保持架无效
| 申请号： | 200410030048.3 | 申请日： | 2004-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN1532532A | 公开（公告）日： | 2004-09-29 |
| 发明（设计）人： | 城崎修哉 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种大型基板保持架。该大型基板保持架中安装有振动吸收构件(8)。其中，在设置于基板保持架本体(2)的开口部(3)内的多个棂条(4)之间，压入了吸收由外在原因及内在原因产生的振动的多个橡胶(9)。 | ||
| 搜索关键词： | 大型 保持 | ||
【主权项】：
1、一种大型基板保持架，具有框状的载物台和多个棂条，所述棂条用于水平地载置被设在所述载物台框内的大型基板，其特征在于，在所述各棂条之间设置有振动吸收装置，该振动吸收装置吸收外在原因及内在原因的振动。
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