[发明专利]一种应用于光学光刻系统的孔径盘无效
| 申请号： | 200410031218.X | 申请日： | 2004-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN1673866A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴元薰 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明一种应用于光学光刻系统的孔径盘，包含有一不透光板体，其上具有一圆形中央开孔(poleaperture)；以及一组四辐具固定开角θ的扇形开孔(sectoraperture)，由所述圆形中央开孔的参考中心点向外呈辐射状；其中所述孔径盘用以搭配传统(Conventional)照光以及环状(Annular)照光以分别得到弓形柱(Bow－Pole)与Quasar两种照明模式。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 光学 光刻 系统 孔径 | ||
【主权项】：
1.一种应用于光学光刻系统的孔径盘，包含有：一不透光板体，其上具有一圆形中央开孔；以及一组四辐具固定开角θ的扇形开孔，由所述圆形中央开孔的参考中心点向外呈辐射状；其中所述孔径盘用以搭配传统照光以及环状照光以分别得到弓形柱与Quasar两种照明模式。
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