[发明专利]多孔膜形成用组合物,多孔膜的制备方法,多孔膜、层间绝缘膜和半导体器件

摘要

本发明的目的是提供介电常数为2.2或更低的，并具有实用价值的机械强度的多孔膜，本发明提供了形成多孔膜的组合物，该组合物包括组分(A)和(B)：(A)100重量份的至少一种可水解的硅化合物和/或至少一种下式(1)表示的硅化合物水解缩合的产物：R¹_aSiZ¹_4－a (1)；其中Z¹表示可水解的基团；R¹表示取代或未取代的一价烃基；以及a是0－3的整数；和(B)0.1－20重量份含有至少一种环状低聚物的交联剂，所述的低聚物在受热时可产生一种或多种硅烷醇基团，并用下述式(3)表示：{R³¹(H)SiO}_d{R³²(Z³)SiO}_e (3)其中R³¹和R³²各自表示取代或未取代的一价烃基；Z³表示受热时可以产生硅醇基的基团；和d和e各自表示0－10的整数，d和e之和大于或等于3。

主权项

1.形成多孔膜的组合物，该组合物包括：(A)100重量份的至少一种可水解的硅化合物和/或至少一种所述硅化合物至少是部分水解缩合的产物，所述的硅化合物是选自下述式(1)和(2)的化合物：R1aSiZ14-a (1)其中Z1独立地表示可水解的基团，当化合物(1)具有多个Z1基团时Z1可以相同或不同；R1独立地表示取代或未取代的一价烃基，当化合物(1)具有多个R1基团时R1可以相同或不同；以及a是0-3的整数；R21b(Z21)3-bSi-Y-Si(R22)cZ223-c (2)其中Z21和Z22各自独立地表示可水解的基团，当化合物(2)包括多个Z21和/或Z22基团时Z21和/或Z22可以相同或不同；R21和R22各自独立地表示取代或未取代的一价烃基，当化合物(2)包括多个R21 和/或R22基团时R21和/或R22可以相同或不同；b和c各自独立地表示0-2的整数；以及Y是氧原子、亚苯基或二价烃基；(B)0.1-20重量份含有至少一种环状或多支链的低聚物的交联剂，所述的低聚物在受热时可产生一种或多种硅烷醇基团，该低聚物选自下述式(3)-(8)表示的低聚物，其中低聚物是：{R31(H)SiO}d{R32(Z3)SiO}e (3)其中R31和R32各自独立的表示取代或未取代的一价烃基，当化合物(3)包括多个R31和/或R32基团时，多个R31和/或R32可以相同或不同；Z3独立的表示在受热时可以产生硅醇基的基团，和当化合物(3)包括多个Z3基团时，多个Z3可以相同或不同；以及d和e各自独立地表示0-10的整数，d和e之和大于或等于3；{R41SiO3/2}f{R42(H)SiO}g{R43(Z4)SiO}h (4)其中R41、R42和R43各自独立的表示表示取代或未取代的一价烃基，当化合物(4)包括多个R41、R42和/或R43各基团时，R41、R42和/或R43可以相同或不同；Z4独立的表示在受热时可以产生硅醇基的基团，和当化合物(4)包括多个Z4基团时，多个Z4可以相同或不同；以及f、g和h各自独立地表示0-10的整数，f、g和h之和大于或等于4，和f是偶数；(HSiO3/2)i(Z5SiO3/2)i (5)其中Z5独立的表示在受热时可以产生硅醇基的基团，和当化合物(5)包括多个Z5基团时，多个Z5可以相同或不同；以及i和j各自独立地表示0-10的整数，i和j之和大于或等于4，和i和j之和是偶数；{H(CH3)2SiO1/2}k{Z61(CH3)2SiO1/2}m(R61SiO3/2)n{R62(Z62)SiO}p(6)其中R61和R62各自独立的表示取代或未取代的一价烃基，当化合物(6)包括多个R61和/或R62基团时，多个R61和/或R62可以相同或不同；Z61和Z62各自独立的表示在受热时可以产生硅醇基的基团，和当化合物(6)包括多个Z61和/或Z62基团时，多个Z61和/或Z62可以相同或不同；以及k、m、n和p各自独立地表示0-20的整数，k、m、n和p之和大于或等于5，以及k、m和n之和是偶数；{H(CH3)2SiO1/2}q{Z71(CH3)2SiO1/2}r(SiO2)s(Z72SiO3/2)t (7)其中Z71和Z72各自独立的表示在受热时可以产生硅醇基的基团，和当化合物(7)包括多个Z71和/或Z72基团时，多个Z71和/或Z72可以相同或不同；以及q、r、s和t各自独立地表示0-20的整数，q、r、s和t之和大于或等于4，以及q、r和t之和是偶数；和(Z813SiO1/2)u(R812SiO)v(R82SiO3/2)w{R83(Z82)SiO}x(SiO2)y(Z83SiO3/2)z (8)其中R81、R82和R83各自独立的表示取代或未取代的一价烃基，当化合物(8)包括多个R81、R82和/或R83各基团时，R81、R82和/或R83 可以相同或不同；Z81、Z82和Z83各自独立的表示在受热时可以产生硅醇基的基团，和当化合物(8)包括多个Z81、Z82和/或Z83基团时，多个Z81、Z82和/或Z83可以相同或不同；以及u、v、w、x、y和z各自独立地表示0-20的整数，u、v、w、x、y和z之和大于或等于3，以及u、w和z之和是偶数。