[发明专利]振动控制装置无效
| 申请号： | 200410031436.3 | 申请日： | 2004-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1538600A | 公开（公告）日： | 2004-10-20 |
| 发明（设计）人： | 金子诚;富田良幸 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | H02K33/16 | 分类号： | H02K33/16;G03F7/20;G05D19/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及由结构体上形成的线性马达可动子等可动部驱动的振动控制装置，其目的在于利用简单的结构来对可动部驱动时产生的反作用力进行反作用力处理，充分抑制结构体振动，并对可动部进行高精度定位。该振动控制装置，在机座(33)和地板(31)之间设置防振机构(32A、32B)，把由线性马达定子(37)和线性马达可动部(38)构成的反作用力处理促动器(42)，在与地板(31)形成一体的支撑件(36)上使距离H1和距离H2相等的铅直方向(Y1、Y2方向)位置形成，利用控制装置(43)输出同一驱动信号，通过驱动工作台(35)和增益补偿器(44)来控制反作用力处理促动器(42)。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种振动控制装置，利用形成在结构体上的可动部驱动产生的反作用力来抑制振动，其特征在于：在抵销上述反作用力的方向上，设置可对上述结构体施加力的反作用力处理机构；该反作用力处理机构的固定侧借助支撑构件固定在地板上；上述结构体借助防振机构与地板结合。
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