[发明专利]蒸镀工序用喷嘴蒸发源有效
| 申请号： | 200410031495.0 | 申请日： | 2004-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN1676660A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 郑光镐 | 申请（专利权）人： | 株式会社延原表 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种特别在制作大面积的基板时，可使蒸镀在基板上的物质层的厚度的均匀性提高、防止物质的蒸镀率随时间急剧减少并可提高物质的利用率的蒸镀工序用喷嘴蒸发源。本发明的蒸镀工序用喷嘴蒸发源，其特征在于，备有设置了决定化学物质的蒸发方向且配置成圆锥状的喷嘴(11)的插入部(10)；设置成上方开口的圆筒状、在上侧设置了能插入上述插入部(10)的卡定台阶(21)的炉子(20)；位于前述炉子(20)的外侧、用于加热炉子(20)的丝极(30)；位于前述丝极(30)的外侧，用于使热损失最小化的反射板(40)；插入前述炉子(20)的内侧、用于把由前述丝极(30)产生的热量传到炉子(20)的内侧的热传导部(50)。 | ||
| 搜索关键词： | 工序 喷嘴 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀工序用喷嘴蒸发源，其特征在于，备有：用于决定化学物质的蒸发方向、并在内侧设置了在垂直方向上与下侧贯通的多根蒸发管，而且设置了与这些蒸发管连结的沿上侧的外周配置成圆锥状的喷嘴的插入部；设置成向上方开口的圆筒状、在上侧设置了可以插入前述插入部的卡定台阶的炉子；位于前述炉子的外侧用于加热炉子的丝极。
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