[发明专利]涂有氧化物的切削工具

摘要

本发明涉及一种在625－800℃的温度通过化学汽相沉积在切削工具嵌件上沉积结晶α－Al₂O₃层的方法。所述方法包括以下步骤：沉积一层0.1－1.5μm的TiC_xN_yO_z层，其中x+y+z＞＝1和z＞0，优选z＞0.2在625－1000℃，在包含0.5－3体积％O₂，优选以CO₂+H₂或O₂+H₂形式的气体混合物中处理所述层，处理时间为约0.5－4min，选择性地存在0.5－6体积％的HCl；和在40－300毫巴的工艺压力下，通过使所述处理过的层与在H₂和0.8－2体积％的含硫试剂、优选H₂S中包含2－10体积％AlCl₃、1 6－40体积％CO₂的气体混合物接触来沉积所述Al₂O₃层。本发明也包括一种具有涂层的切削工具嵌件，所述涂层包括至少一种本发明的α－Al₂O₃层。

主权项

1.一种通过化学汽相沉积使结晶α-Al2O3层沉积到切削工具嵌件上的方法，其特征在于包括以下步骤：沉积一层0.1-1.5μm的TiCxNyOz层，其中x+y+z＞＝1和z＞0，优选z＞0.2；在625-1000℃，在包含0.5-3体积％O2，优选以CO2+H2或O2+H2形式的气体混合物中处理所述层，处理时间为约0.5-4分钟，选择性地存在0.5-6体积％的HCl；和在40-300毫巴的工艺压力和625-800℃，优选625-700℃，最优选650-695℃的温度下，通过使所述处理过的层与在H2和0.8-2体积％的含硫试剂、优选H2S中包含2-10体积％AlCl3、16-40体积％CO2的气体混合物接触来沉积所述Al2O3层。